2018 旭硝子財団 助成研究発表会 要旨集

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MEMS 1. MEMSMEMScm PZTMEMS 2. PZTSi e31,f=14.5 C/m2ɛr=250~300 PZTPZT(100)SrRuO3/(100)Pt/(100)Ir/(100)YSZ/(100)SiPZTPZT MEMS (SN)MEMSSNSNSNMEMSSN(e31,f)2, (e31,f/ɛr)22(a)PZTEpi PMnN-PZT1.cPZT (a)(b)X －124－発表番号　60